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贺德克压力传感器
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贺德克压力传感器
贺德克压力传感器是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括丈量高于大气压的压力计以及丈量低于大气压的真空计。力敏传感器的种类甚多、传统的丈量方法是利用弹性元件的形变和位移来表示,但它的体积大、粗笨、输出非线性。随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,研制出半导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。当对一块半导体在某一晶向上施加应力时,其电阻率会产生一定的变化。
贺德克压力传感器
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